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- ๅฎ็พฉ: SECS/GEM ใ GEM300 ใชใฉใฎ SEMI ่ฆๆ ผใฏใๅๅฐไฝ่ฃฝ้ ่ฃ ็ฝฎใใใกใฏใใชใในใใทในใใ ๏ผMES๏ผใจใฉใฎใใใซๆฅ็ถใป้ไฟกใใใใ่ฆๅฎใใพใใ
- SECS/GEM: ๅฐๅพใฆใงใผใใๆฏ่ผ็ใทใณใใซใช่ฃ ็ฝฎๅใใซใ็ถๆ ็ฃ่ฆใใชใขใผใๅถๅพกใใใผใฟๅ้ใๅฏ่ฝใซใใไธญๆ ธใใญใใณใซใงใใ
- GEM300: 300mm ่ชๅๅใใกใๅใใซ่จญ่จใใใ่ฆๆ ผ็พคใงใใญใฃใชใข็ฎก็ใใธใงใๅฆ็ใใใใชใขใซใใฉใใญใณใฐใฎใใใฎ่ฟฝๅ ใฌใคใคใๆไพใใพใใ
- ๅฉ็น: ่ฃ ็ฝฎ็ตฑๅใฎ้ซๅบฆๅใซใใไบบ็ใในใๅๆธใใในใซใผใใใใๅไธใใใใชใขใซใฟใคใ ใใผใฟๅๆใๅฏ่ฝใซใใพใใ
- ๅฐๆฅ: Interface A๏ผEDA๏ผใฏใใใใฐใใผใฟใใใณ AI ไธปๅฐใฎใใญใปในๅถๅพกใซๅใใ้ซๅธฏๅ้ไฟกใๆไพใใพใใ
ใฏใใใซ
Statista๏ผ2024๏ผใซใใใจใไธ็ใฎๅๅฐไฝ่ฃฝ้ ่ฃ ็ฝฎๅธๅ ดใฏใๅใกใผใซใผใ็็ฃ่ฝๅๆกๅคงใ็ซถใไธญใ2025 ๅนดๆซใพใงใซ 1,200 ๅใใซใ่ถ ใใใจไบๆธฌใใใฆใใพใใใใฎๅทจๅคงใช่ฆๆจกใงใฏใๆไฝๆฅญใงใฏๅฐๅบๅฎ็พใงใใชใ็ฒพๅบฆใๆฑใใใใพใใๆญฉ็ใพใใ็ถญๆใใใใใซใฏใๅทฅๅ ดๅ ใฎใในใฆใฎ่ฃ ็ฝฎใๅใ่จ่ชใ่ฉฑใๅฟ ่ฆใใใใพใใใใฎๅ ฑ้่จ่ชใใใใๅๅฐไฝ่ฃ ็ฝฎ้ไฟก่ฆๆ ผใงใใใใใซใใใใใใใณใใผใฎ่ฃ ็ฝฎใใๅฅใฎใใณใใผใฎใใกใฏใใชใทในใใ ใจ็ฟป่จณใชใใง้ไฟกใงใใพใใ
ๆๆฐใฎ่ฃฝ้ ใใกใใงใฏใใใใใฎใใญใใณใซใไฝฟ็จใใฆใๆฐๅใซๅใถ่ค้ใชๅทฅ็จใๅถๅพกใใฆใใพใใใใผใฟใๆจๆบๅใใใๆนๆณใงๆฑใใชใใใฐใ็พไปฃใฎใใกใใฏ้ซไพกใงๆฒ้ปใใ้ๅฑใฎ็ฎฑใฎ้ๅไฝใซ้ใใพใใใ็ตฑไธใใใ SECS/GEM ่ฆๆ ผใๆก็จใใใใจใงใใกใผใซใผใฏๅคง้็็ฃใซไธๅฏๆฌ ใช็ธไบ้็จๆงใๅฎ็พใใพใใ
ๆจๆบๅใฏใใฉใคใใขใฆใใใกใใใฎๅบ็คใงใใ่ฃ ็ฝฎใ่ชๅพ็ใซ็ถๆ ใใขใฉใผใ ใใใญใปในๅคๆฐใ้ไฟกใใใใจใงใไบบ็ใในใฎใชในใฏใฏๅคงๅน ใซไฝๆธใใใพใใๆฌ่จไบใงใฏใSECS/GEM ใๅบ็คใจใใGEM300 ใฎ็นๆฎ่ฆไปถใใใใฆ EDA ใซใใ้ซ้้ไฟกใฎๅฐๆฅใพใงใใใใใฎใใญใใณใซ้ๅฑคใ่งฃ่ชฌใใพใใ
SECS/GEM ่ฆๆ ผใฎๅบ็ค
1980 ๅนดไปฃไปฅๅใ่ฃ ็ฝฎ้ไฟกใฏ็ก็งฉๅบใช็ถๆ ใงใใใๅใใณใใผใ็ฌ่ชๆนๅผใงใใผใฟใ้ไฟกใใฆใใใฎใงใใSEMI๏ผSemiconductor Equipment and Materials International๏ผใฏใใใฎๆททไนฑใๆด็ใใใใใซไปๅ ฅใใพใใใใใฎ็ตๆ่ช็ใใใฎใใ็ท็งฐใใฆ SECS/GEM ใจๅผใฐใใไธ้ฃใฎใใญใใณใซใงใใใใฎใใฌใผใ ใฏใผใฏใฏ็พๅจใงใใไธ็ไธญใงๆใๅบใๅฉ็จใใใฆใใๅๅฐไฝ่ฃ ็ฝฎ็ตฑๅๆๆณใงใใ
SECS-I ใจ HSMS๏ผ็ฉ็ใฌใคใค๏ผ
ในใฟใใฏใฎๆไธๅฑคใซไฝ็ฝฎใใใฎใ็ฉ็ๆฅ็ถใงใใๆญดๅฒ็ใซใฏใSEMI E4๏ผSECS-I๏ผใ RS-232 ใทใชใขใซใฑใผใใซใซใใ้ไฟกใๅฎ็พฉใใฆใใพใใใไฟก้ ผๆงใฏ้ซใใใฎใฎใใทใชใขใซ้ไฟกใฎ้ๅบฆใฏ็พไปฃใฎใใผใฟ่ฆๆฑใซใฏไธๅๅใงใใใใฎใใใๅคใใฎๅทฅๅ ดใงใฏ TCP/IP ไธใง้ซ้้ไฟกใ่กใ SEMI E37๏ผHSMS๏ผใธ็งป่กใใฆใใพใใใใใซใใใๆจๆบ Ethernet ใ็จใใๆฅ็ถใๅฏ่ฝใจใชใใ้ซ้ใชใใผใฟ่ปข้ใจๅฎนๆใชใใใใฏใผใฏๆง็ฏใๅฎ็พใใพใใ
SECS-II๏ผใกใใปใผใธใฌใคใค๏ผ
SEMI E5ใใใชใใก SECS-II ใฏใ้ไฟกใใใใกใใปใผใธใฎๆง้ ใๅฎ็พฉใใพใใใในใใชใผใ ใใจใใใกใณใฏใทใงใณใใซๅ้กใใใๆจๆบใกใใปใผใธ็พคใ่ฆๅฎใใฆใใพใใไพใใฐใในใใชใผใ 1 ใฏ็ถๆ ่ฆๆฑใๅฆ็ใใในใใชใผใ 6 ใฏใใผใฟๅ้ใๆ ๅฝใใพใใใใฎๆง้ ๅใใใๅฝขๅผใซใใใใในใใๆธฉๅบฆใ่ฆๆฑใใๅ ดๅใ่ฃ ็ฝฎใฏใในใใ็่งฃใงใใๅฝขๅผใงๅฟ็ญใใพใใ
GEM ใฌใคใค๏ผใคใณใใชใธใงใณใน๏ผ
SEMI E30 ใจใใฆ็ฅใใใ GEM๏ผGeneric Model for Communication and Control of Manufacturing Equipment๏ผใฏใSECS-II ใฎไธไฝใซไฝ็ฝฎใใพใใGEM ใฏใใฉใฎ SECS-II ใกใใปใผใธใไฝฟ็จใใใฉใฎใใใซๅไฝใใใใใๅฎ็พฉใใพใใ
GEM ๆบๆ ่ฃ ็ฝฎใๆไพใใไธปใชๆฉ่ฝ:
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้ซๅบฆใชใใกใๅใ GEM300 ใธใฎ้ฒๅ
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E87 ใจ E90 ใซใใใใใชใขใซ็ฎก็
300mm ใใกใใงใฏใไบบใ็ดๆฅใฆใงใผใใซ่งฆใใใใจใฏใปใจใใฉใใใพใใใFOUP๏ผFront Opening Unified Pod๏ผใฏๅคฉไบใฌใผใซใ้ใใฆๆฌ้ใใใพใใSEMI E87๏ผใญใฃใชใข็ฎก็๏ผใฏใFOUP ใฎๅฐ็ใใฏใฉใณใใใใใญใณใฐ็ถๆ ใ็ฎก็ใใพใใๅๆใซใSEMI E90๏ผๅบๆฟใใฉใใญใณใฐ๏ผใฏใ่ฃ ็ฝฎๅ ้จใซใใใๅใฆใงใผใใฎๆญฃ็ขบใชไฝ็ฝฎใๆๆกใใพใใ
E40 ใจ E94 ใซใใใธใงใๅฆ็
้ซในใซใผใใใใใกใใงใฏใใญใฅใผ็ฎก็ใๅน็ใฎ้ตใจใชใใพใใSEMI E40๏ผใใญใปในใธใงใ็ฎก็๏ผใฏใใในใใ่ฃ ็ฝฎใธ่คๆฐใฎใใธใงใใใ้ไฟกใใใใจใๅฏ่ฝใซใใพใใๅใธใงใใซใฏใๅฆ็ๅฏพ่ฑกใฆใงใผใใไฝฟ็จใฌใทใใๅซใพใใพใใSEMI E94๏ผใณใณใใญใผใซใธใงใ็ฎก็๏ผใฏใ่คๆฐใฎใใญใปในใธใงใใ่ชฟๆดใใใใใซใใใฏใชใใง่ฃ ็ฝฎใ็จผๅใใใพใใ
E116๏ผ่ฃ ็ฝฎๆง่ฝใใฉใใญใณใฐ๏ผใฎ้่ฆๆง
McKinsey & Company๏ผ2023๏ผใฎๅๅฐไฝ่ฃฝ้ ใฌใใผใใซใใใจใ่ฃ ็ฝฎ็จผๅ็ใฎๆ้ฉๅใซใใใใใกใใฎๅ็ๆงใฏๆๅคง 10% ๅไธใใใจใใใฆใใพใใSEMI E116 ใฏใไปฅไธใฎ่ฃ ็ฝฎ็ถๆ ใๆจๆบๅใใใๆนๆณใง่จ้ฒใใพใใ
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GEM ใ่ถ ใใฆ๏ผEDA๏ผInterface A๏ผใฎๅฐ้ ญ
GEM ใๅฎๅฎใใไผ่ฉฑใ ใจใใใฐใEDA๏ผEquipment Data Acquisition๏ผใๅฅๅ Interface A ใฏใใพใใซๅคง้ๆพๅบๅใฎใใผใฟ้ไฟกใงใใใใญใปในใใผใใ 3nm ไปฅไธใธ็ธฎๅฐใใใซใคใใใใญใปในๅถๅพกใซๅฟ ่ฆใชใใผใฟ้ใฏ็็บ็ใซๅขๅ ใใพใใใๅพๆฅใฎ้ไฟกใใญใใณใซใงใฏใ้ซๅบฆใชใใใฐใใผใฟ่งฃๆใซๅฟ ่ฆใชๅธฏๅใ็ขบไฟใงใใชใๅ ดๅใใใใพใใ
GEM ใ่ฃๅฎใใ EDA
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ในใใผใใใกใใฎๅฎ็พ
ๅถๅพกใจใใผใฟใๅ้ขใใใใจใงใใ้ซๅบฆใใญใปในๅถๅพก๏ผAPC๏ผใใๅฏ่ฝใซใชใใพใใEDA ใใๅๅพใใใ้ซ้ ปๅบฆใใผใฟใ็จใใๆฌ ้ฅใ็บ็ใใๅใซ่ฃ ็ฝฎๆง่ฝใฎๅพฎ็ดฐใชๅคๅใๆค็ฅใงใใพใใใใใฏใใตใ 5nm ไธไปฃใซใใใๆญฉ็ใพใ็ถญๆใซไธๅฏๆฌ ใงใใ
1 ๆใฎใฆใงใผใใ 1,000 ๅทฅ็จใ็ตใฆใใใใใใใใช็งๅไฝใงๆญฃ็ขบใช้ไฟกใๅฟ ่ฆใจใใใใจใใ็งใใกใฏใฉใใปใฉๆ่ญใใฆใใใงใใใใใใใใฏใไธ่ฌ็ใชใชใใฃในใฎ Zoom ไผ่ญฐใใ็ณธ้ป่ฉฑใฎใใใซ่ฆใใฆใใพใใปใฉใฎๅทฅๅญฆ็ๅๆฅญใงใใ
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ใฌใฌใทใผ่ฃ ็ฝฎ: SECS-I ใทใชใขใซๆฅ็ถใฎใฟใใตใใผใใใๆงๅ่ฃ ็ฝฎใใๆๆฐใฎ HSMS ใใใใฏใผใฏใธ็ตฑๅใใใซใฏใๅฐ็จใฒใผใใฆใงใคใๅคๆใใผใใฆใงใขใๅฟ ่ฆใงใใ
ใในใใฎ่ค้ๆง: FOUP ใฎไบๆใใฌๅใๅคใใชใฉใGEM300 ใฎใในใฆใฎใทใใชใชใๆค่จผใใใซใฏใๅณๅฏใชใทใใฅใฌใผใทใงใณใๆฑใใใใพใใ
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