์์ฝ
- SECS/GEM ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ์ฅ๋น์ ๊ณต์ฅ ํธ์คํธ ์์คํ ๊ฐ ์ ๋ณด ๊ตํ์ ๊ธฐ๋ณธ ๋จ์๋ก ์๋ํฉ๋๋ค.
- SEMI E5 ํ์ค(SECS-II)์ ๊ธ๋ก๋ฒ ์ํธ ์ด์ฉ์ฑ์ ๋ณด์ฅํ๊ธฐ ์ํด ์ด๋ฌํ ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ํฌ๋งท๊ณผ ๊ตฌ์กฐ์ ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ์ ์ํฉ๋๋ค.
- ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ์ํ ๋ณ์(Status Variables, SV), ์ฅ๋น ์์(Equipment Constants, EC), ๋ฐ์ดํฐ ๋ณ์(Data Variables, DV)์ ์ธ ๊ฐ์ง ์ฃผ์ ๋ณ์๋ก ๋ถ๋ฅ๋ฉ๋๋ค.
- GEM ๋ฐ์ดํฐ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ฌ๋ฐ๋ฅด๊ฒ ๊ตฌํํ๋ฉด ํตํฉ ์๊ฐ์ด ๋จ์ถ๋๊ณ ์ค์๊ฐ ๋ชจ๋ํฐ๋ง์ ์ํ ๋ฐ์ดํฐ ์ ํ์ฑ์ด ํฅ์๋ฉ๋๋ค.
- ์ฐ์ ์ ํ์ฉ์ ๊ณต์ ์ ์ด, ์๋ ๊ด๋ฆฌ, ์ฅ๋น ํต์ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ํตํ ์๊ฒฉ ๊ตฌ์ฑ์ ์ง์ค๋ฉ๋๋ค.
์๊ฐ
Statista(2024)์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด, ์ ์ธ๊ณ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ์ฅ๋น ๋งค์ถ์ ์ฝ 1,060์ต ๋ฌ๋ฌ์ ๋ฌํ๋ฉฐ, ์ด๋ ์ฐ์ ์ ๋ฐ์ ๊ฑธ์น ์ด์๋ํ(hyper-automation) ์ถ์ง์ ๋ฐ์ํฉ๋๋ค. ๊ณต์ฅ์ด ํ์ฅ๋จ์ ๋ฐ๋ผ ์๋ก ๋ค๋ฅธ ์ฅ๋น ๊ฐ์ ์ํํ ํต์ ์ ๋ํ ํ์์ฑ์ ์ ์ ๋ ์ค์ํด์ง๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํ๊ฒฝ์ ํด๋ฆฐ๋ฃธ ํ์ฅ์ ํ๋์จ์ด์ ํน์ ๊ด๋ฆฌํ๋ ์ํํธ์จ์ด ๊ฐ์ ๊ฒฉ์ฐจ๋ฅผ ํด์ํ๊ธฐ ์ํด SECS/GEM ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ํฌ๊ฒ ์์กดํฉ๋๋ค.
SECS GEM ํ๋กํ ์ฝ์ ์ฅ๋น๊ฐ ๊ณต์ ์ค์ ๋ฐ์ํ๋ ์ํฉ์ ํธ์คํธ์ ์ ํํ ์ ๋ฌํ ์ ์๋ ํ์คํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์จ์ดํผ ์ด์ก์ด๋ ์จ๋ ๋ณํ์ด๋ , ๋ชจ๋ ์ธ๋ถ ์ฌํญ์ ํน์ ๋ฐ์ดํฐ ๊ตฌ์กฐ๋ก ํจํค์ง๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํ์ค์ด ์๋ค๋ฉด ๊ณต์ฅ์ ์๋ก ๋ค๋ฅธ ์ธ์ด๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ๊ธฐ๊ณ๋ค์ ํผ๋์ค๋ฌ์ด ์งํฉ์ฒด๊ฐ ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
์์ง๋์ด์ ์ํคํ ํธ๋ ๊ฒฌ๊ณ ํ ์๋ํ ๊ณ์ธต์ ๊ตฌ์ถํ๊ธฐ ์ํด ์ด๋ฌํ ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ด ์ด๋ป๊ฒ ์๋ํ๋์ง ๋ฐ๋์ ์ดํดํด์ผ ํฉ๋๋ค. ์ด ๊ฐ์ด๋๋ ๋ฐ๋์ฒด ํต์ ํ์ค์ ์ํคํ ์ฒ์ ๊ทธ๊ฒ์ด ๊ณ ์ยท๊ณ ์ ๋ขฐ ๋ฐ์ดํฐ ๊ตํ์ ์ด๋ป๊ฒ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํ๋์ง๋ฅผ ์ดํด๋ด ๋๋ค. ๋ณ์ ์ ํ๋ถํฐ ํฌ๋งท ๊ท์น๊น์ง, SEMI E5 ํ์ค์ ํต์ฌ ์์๋ฅผ ์์ธํ ๋ถ์ํฉ๋๋ค.
๋์ฝ๋ฉ DNA: SECS/GEM ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ด๋ ๋ฌด์์ธ๊ฐ?
๊ฐ์ฅ ๋จ์ํ๊ฒ ๋งํด ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ํน์ ํ ํ์๊ณผ ์๋ฏธ๋ฅผ ๊ฐ์ง ์ ๋ณด ์กฐ๊ฐ์ ๋๋ค. SECS/GEM ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ๋งฅ๋ฝ์์ ์ด๋ ์ฅ๋น์ ์ดํ ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค. ํธ์คํธ ์์คํ ์ด ์ง๋ฌธ์ ํ๊ฑฐ๋ ๋ช ๋ น์ ๋ด๋ฆฌ๋ฉด, ์ฅ๋น๋ ์ด๋ฌํ ์ฌ์ ์ ์๋ ๋จ์๋ฅผ ์ฌ์ฉํด ์๋ตํฉ๋๋ค.
์ด๋ฌํ ์์ดํ ์ SECS-II(SEMI E5) ๋ฉ์์ง ๊ณ์ธต ๋ด์ ์กด์ฌํฉ๋๋ค. ์ผ์ ์ํ๋ ํ์ฌ ์คํ ์ค์ธ ์ํํธ์จ์ด ๋ฒ์ ๊ณผ ๊ฐ์ ๋ฉ์์ง์ ๋งฅ๋ฝ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ ์ ํ ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ์๊ฐ ์๋ค๋ฉด ๋ฉ์์ง๋ ํธ์ง ์๋ ๋ดํฌ์ ๋ถ๊ณผํฉ๋๋ค.
์ ๋ขฐํ ์ ์๋ ๋ฐ์ดํฐ ๊ตํ์ ํธ์คํธ์ ์ฅ๋น๊ฐ ์ด ์์ดํ ๋ค์ ID์ ํ์์ ๋ํด ๋ชจ๋ ํฉ์ํ ๋ ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํฉ์๋ ์ด๊ธฐ ํตํฉ ๋จ๊ณ์์ ์ด๋ฃจ์ด์ง๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์ฅ๋น๊ฐ โ1โ์ ์ ์กํ์ ๋, ํธ์คํธ๋ ๊ทธ๊ฒ์ด โTrueโ ๋ถ๋ฆฌ์ธ ๊ฐ์ธ์ง ํน์ ์ค๋ฅ ์ฝ๋๋ฅผ ์๋ฏธํ๋ ์ ์์ธ์ง ์ ํํ ์ธ์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ๊ตฌ์ฑ ์์
๊ฐ ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ๋ ๊ฐ์ง ํต์ฌ ๊ตฌ์ฑ ์์๋ฅผ ํฌํจํฉ๋๋ค: ํฌ๋งท ์ฝ๋์ ๊ฐ์ ๋๋ค. ํฌ๋งท ์ฝ๋๋ ์์ ์๊ฐ ์ดํ์ ๋ฐ๋ผ์ค๋ ๋ฐ์ดํธ๋ฅผ ์ด๋ป๊ฒ ํด์ํด์ผ ํ๋์ง๋ฅผ ์๋ ค์ค๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ํฌ๋งท์ 4๋ฐ์ดํธ ์ ์ ๋๋ ๊ฐ๋ณ ๊ธธ์ด ๋ฌธ์์ด์ ์ง์ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ฐ์ ์ค์ ์ธก์ ์น ๋๋ ์ํ์ ๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์์๋ ์ ๋ฐ์ฑ์ด ๋ชจ๋ ๊ฒ์ ์ข์ฐํฉ๋๋ค. ์จ๋ ์ธก์ ๊ฐ์ ์จ์ดํผ ํ ๋ฐฐ์น๋ฅผ ๋ง์น ์ ์๋ ๋ฏธ์ธํ ๋ณํ๋ฅผ ํฌ์ฐฉํ๊ธฐ ์ํด ๋ถ๋์์์ ํ์์ ํ์๋ก ํ ์ ์์ต๋๋ค.
SEMI E5 ํ์ค์ ์ค์์ฑ
SEMI E5 ํ์ค์ ์ฌ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ ๋ฐ์ดํฐ ํฌ๋งท์ ๋ผ์ด๋ธ๋ฌ๋ฆฌ๋ฅผ ์ ์ํฉ๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์ ๋ฝ์์ ์ ์๋ ์ฅ๋น๊ฐ ์์์์์ ์ค๊ณ๋ ํธ์คํธ ์์คํ ๊ณผ ํต์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํ์คํ ๋๋ถ์ ์ฐ์ ์ ๊ธ๋ก๋ฒ ๊ณต๊ธ๋ง ์ ๋ฐ์ ๊ฑธ์ณ ํจ์จ์ ์ผ๋ก ํ์ฅํ ์ ์์ต๋๋ค.
GEM ๋ฐ์ดํฐ ๊ตฌ์กฐ ๋ถ๋ฅ
์ ์กฐ ์ฅ๋น ํต์ ๋ฐ ์ ์ด๋ฅผ ์ํ ์ผ๋ฐ ๋ชจ๋ธ(GEM)์ ์ฌ์ฉํ ๋, ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ํน์ ๊ธฐ๋ฅ ๋ฒ์ฃผ๋ก ๊ทธ๋ฃนํ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ฒ์ฃผ๋ฅผ ์ดํดํ๋ ๊ฒ์ GEM ๋ฐ์ดํฐ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ด๋ฆฌํ๋ ๋ชจ๋ ์ฌ๋์๊ฒ ํ์์ ์ ๋๋ค.
์ํ ๋ณ์(Status Variables, SV)
์ํ ๋ณ์๋ ์ฅ๋น์ ํ์ฌ โ์ค์๊ฐโ ์ํ๋ฅผ ๋ํ๋ ๋๋ค. ์ด๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ํธ์คํธ ๊ด์ ์์ ์ฝ๊ธฐ ์ ์ฉ์ ๋๋ค. ํธ์คํธ๊ฐ ์ง๊ณต ์ฑ๋ฒ์ ํ์ฌ ์๋ ฅ์ ์๊ณ ์ถ๋ค๋ฉด, ํด๋น SV์ ๊ฐ์ ์์ฒญํฉ๋๋ค.
์ฅ๋น ์์(Equipment Constants, EC)
์ฅ๋น ์์๋ ์ฅ๋น์ ๋์ ๋ฐฉ์์ ์ ์ํ๋ ๋ณ์์ ๋๋ค. SV์ ๋ฌ๋ฆฌ, ์ด๋ค์ ๋ณดํต ์ฝ๊ธฐ ๋ฐ ์ฐ๊ธฐ๊ฐ ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค. ์์ง๋์ด๋ EC๋ฅผ ๋ณ๊ฒฝํ์ฌ ํ์์์ ๊ธฐ๊ฐ์ ์กฐ์ ํ๊ฑฐ๋ ๋ ์ํผ ์ค์ ๊ฐ์ ์์ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ์ดํฐ ๋ณ์(Data Variables, DV)
๋ฐ์ดํฐ ๋ณ์๋ ์ผ์์ ์ ๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ํน์ ์ด๋ฒคํธ์ ์ฐ๊ฒฐ๋ฉ๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด ์จ์ดํผ๊ฐ ์ฒ๋ฆฌ๋ ๋, DV๋ ์์ ์๊ฐ์ ๊ธฐ๋กํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด ๊ฐ์ ์ด๋ฒคํธ ๋ฐ์ ์์ ์๋ง ์ ํจํ๋ฉฐ, ๊ณต์ ์ด ์๋ฃ๋๋ฉด ๋ณ๊ฒฝ๋๊ฑฐ๋ ๋ฌดํจํ๋ ์ ์์ต๋๋ค.
ํฌ๋งท๊ณผ ์ฅ๋น ํต์ ๋ฐ์ดํฐ
๊ทธ๋ ๋ค๋ฉด ์ด๋ฌํ ์ฅ๋น ํต์ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ค์ ๋ก ์ด๋ป๊ฒ ํจํค์งํ ๊น์? SECS-II ํ์ค์ ๋ค์ํ ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ์ถฉ์กฑํ๊ธฐ ์ํด ์ฌ๋ฌ ๋ฐ์ดํฐ ์ ํ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์๋ชป๋ ํฌ๋งท์ ์ ํํ๋ฉด ๋ฐ์ดํฐ ์ ๋จ์ด๋ ํต์ ์ค๋ฅ๊ฐ ๋ฐ์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
- List (L): ๋ค๋ฅธ ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ํฌํจํ๋ ์ปจํ ์ด๋๋ก, ์ค์ฒฉ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค.
- Boolean (B): True/False ๋๋ 0/1์ ๋ํ๋ด๋ ๋จ์ํ ์งํ์ ๋๋ค.
- ASCII (A): ๋ ์ํผ ์ด๋ฆ์ด๋ ์๋ฆฌ์ผ ๋ฒํธ์ ๊ฐ์ ์ฌ๋์ด ์ฝ์ ์ ์๋ ๋ฌธ์์ด์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- Integers (I1, I2, I4, I8): ๋ค์ํ ๋ฐ์ดํธ ๊ธธ์ด๋ฅผ ๊ฐ์ง ๋ถํธ ์๋ ์ ์์ ๋๋ค.
- Unsigned Integers (U1, U2, U4, U8): ์์ ์ ์ ๊ฐ์ ๋๋ค.
- Floating Point (F4, F8): ์์์ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๊ฐ์ง ์ซ์์ ๋๋ค.
๋ณ์ ID๊ฐ ๋๋ฝ๋์์ ๋ MES๊ฐ ๋ง์น ํฌ๋๊ฑฐ๋ฆฌ๋ ์ ์์ฒ๋ผ ํ๋ํ๋ ์ด์ ๊ฐ ๊ถ๊ธํ ์ ์ด ์๋์? ์ด๋ ํ๋กํ ์ฝ์ด ์ด๋ฌํ ํฌ๋งท์ ์๊ฒฉํ๊ฒ ์ค์ํ ๊ฒ์ ๊ธฐ๋ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค. ์์คํ ์ด U4๋ฅผ ๊ธฐ๋ํ๋๋ฐ ASCII ๋ฌธ์์ด์ ๋ฐ์ผ๋ฉด, ํต์ ์ฐ๊ฒฐ์ ์ ์ง๋ ์ ์์ง๋ง ๋ ผ๋ฆฌ ๊ณ์ธต์ ์คํจํ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ํฝ๋๋ค.
๋ณ์ ID(Variable IDs, VIDs)
๋ชจ๋ ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์๋ ๊ณ ์ ํ ๋ณ์ ID๊ฐ ํ ๋น๋ฉ๋๋ค. ์ด ์ซ์ ์๋ณ์๋ ํธ์คํธ๊ฐ ์ด๋ฆ์ ์ ํ์ ์์ด ํน์ ์ ๋ณด๋ฅผ ๊ฐ๋ฆฌํฌ ์ ์๊ฒ ํด์ค๋๋ค. ๋๊ท๋ชจ ์ด์ ํ๊ฒฝ์์๋ ์ด๋ฌํ VID๋ฅผ ๊ด๋ฆฌํ๋ ๊ฒ์ด MES ์์ง๋์ด์๊ฒ ์ค์ํ ๊ณผ์ ๊ฐ ๋ฉ๋๋ค.
SECS/GEM ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ์ฐ์ ์ ํ์ฉ
ํ๋ ํน์์ SECS/GEM ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ โ์ค๋งํธ ํฉํ ๋ฆฌโ์ ์๋ช ์ ์ ๋๋ค. McKinsey์ 2023๋ ๋ณด๊ณ ์์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด, AI ๊ธฐ๋ฐ ์ ์กฐ๋ ๋ ๋์ ๋ฐ์ดํฐ ํ์ฉ์ ํตํด ๋ฐ๋์ฒด ์์จ์ ์ต๋ 10%๊น์ง ํฅ์์ํฌ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํ์ฉ์ ์ฅ๋น ๋ฐ์ดํฐ ์์ง ๋ฐ ํ์ฉ ๋ฐฉ์์์ ์์๋ฉ๋๋ค.
์ค์๊ฐ ๊ณต์ ๋ชจ๋ํฐ๋ง
ํน์ ์ํ ๋ณ์๋ฅผ ๊ตฌ๋ ํจ์ผ๋ก์จ, ํธ์คํธ ์์คํ ์ ์ ์ฒด ๊ณต์ฅ ํํฉ์ ์ค์๊ฐ ๋์๋ณด๋๋ก ๊ตฌ์ฑํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์ด์์๋ ๋ผ์ธ ์ ์ง๋ฅผ ์ด๋ํ๊ธฐ ์ ์ ๋ณ๋ชฉ ํ์์ ํ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ชจํฐ์ ์ง๋ SV๊ฐ ์์น ์ถ์ธ๋ฅผ ๋ณด์ด๋ฉด, ์ ์ง๋ณด์๋ฅผ ์ฌ์ ์ ๊ณํํ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ ์ํผ ๊ด๋ฆฌ
์ฅ๋น ํต์ ๋ฐ์ดํฐ๋ ๋ ์ํผ ๋ฌด๊ฒฐ์ฑ์ ํ์์ ์ ๋๋ค. ํธ์คํธ๊ฐ ์ฅ๋น์ ๋ ์ํผ๋ฅผ ๋ค์ด๋ก๋ํ ๋, ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ์ฌ์ฉํด ํ๋ผ๋ฏธํฐ๋ฅผ ์ง์ ํฉ๋๋ค. ์ดํ ์ฅ๋น๋ ์ด ์์ดํ ์ ์ฌ์ฉํด ๋ก๋๋ ๋ ์ํผ๊ฐ ํน์ ์จ์ดํผ ๋ฐฐ์น ์๊ตฌ ์ฌํญ๊ณผ ์ผ์นํ๋์ง ๊ฒ์ฆํฉ๋๋ค.
์๋ ๋ฐ ์ด๋ฒคํธ ๋ณด๊ณ
๋ฌธ์ ๊ฐ ๋ฐ์ํ๋ฉด ์ฅ๋น๋ ์์ง ์ด๋ฒคํธ(Collection Event, CE)๋ฅผ ํธ๋ฆฌ๊ฑฐํฉ๋๋ค. ์ด ์ด๋ฒคํธ๋ ๊ด๋ จ SECS/GEM ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ๊ณผ ํจ๊ป ๋ฒ๋ค๋ก ์ ์ก๋์ด ๋งฅ๋ฝ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ๋จ์ํ โErrorโ ๋ฉ์์ง ๋์ , ํธ์คํธ๋ ์ด๋ฒคํธ ID์ ์๋์ ์ ๋ฐํ ํน์ ์ผ์ ๊ฐ์ ํจ๊ป ์์ ํฉ๋๋ค.
๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ๊ตฌํ: ๋ชจ๋ฒ ์ฌ๋ก
์ฑ๊ณต์ ์ธ ํตํฉ์ ๋งค๋ด์ผ์ ๋ฐ๋ฅด๋ ๊ฒ ์ด์์ ์๊ตฌํฉ๋๋ค. ๋ฐ์ดํฐ ์กฐ์ง ๋ฐ ํ์ฅ์ฑ์ ๊ณ ๋ คํ ์ ๋ต์ด ํ์ํฉ๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์ํํธ์จ์ด ์ํคํ ํธ๋ ๋จ ํ ์ค์ ์ฝ๋๋ ์์ฑํ๊ธฐ ์ ์ ์ด๋ฌํ ์์ดํ ์ ๋งคํํ๋ ๋ฐ ์ ์ฃผ๋ฅผ ์๋นํ๊ธฐ๋ ํฉ๋๋ค.
์ผ๊ด์ฑ์ด ํต์ฌ์
๋๋ค: ์ ์ฌํ ์ฅ๋น ์ ํ ๊ฐ์ ๋์ผํ ๋ช
๋ช
๊ท์น๊ณผ ID ๋ฒ์๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ญ์์ค.
์ค๋ฒํค๋ ์ต์ํ: ํธ์คํธ๊ฐ ํ๋ ๊ฐ์ ๊ฐ๋ง ํ์๋ก ํ ๊ฒฝ์ฐ, ๋๊ท๋ชจ ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ
๋ฆฌ์คํธ ์ ์ก์ ํผํ์ญ์์ค. ๋์ ํน์ ๋ฆฌํฌํธ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ญ์์ค.
๋ชจ๋ ๊ฒ์ ๋ฌธ์ํํ์ญ์์ค: ๋ชจ๋ VID, ํฌ๋งท, ์ ํจ ๋ฒ์๋ฅผ ๋์ดํ ์์ธํ GEM ๋งค๋ด์ผ์ ์ ์งํ์ญ์์ค.
๊ฒ์ฆ: ์ฅ๋น ์ธก์์ ์์ฑ๋ ์ฅ๋น ์์๊ฐ ์์ ํ ์ด์ ๋ฒ์ ๋ด์ ์๋์ง ํ์ธํ๋ ๊ฒ์ฌ๋ฅผ ๊ตฌํํ์ญ์์ค.
SEMI ํ์ค ๋ฌธ์๋ ๋ณดํธ ๋ป์ผ๋ก๋ ์ฌ์ฉํ ์ ์์ ๋งํผ ๋๊ป์ง๋ง, ๋ณ์ ๋ช ๋ช ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ํ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ์ง์นจ์ ๋ถ์กฑํฉ๋๋ค. ์ด ์ง์ ์์ ์ธ๊ฐ์ ์ง๊ด๊ณผ ๊ฒฝํ์ด ์ค์ํด์ง๋๋ค. ์ ์ ๋ฆฌ๋ ๋ฐ์ดํฐ ๋งต์ ์ํํ ๊ฐ๋๊ณผ ์๊ฐ์์ ๋๋ฒ๊น ์ฌ์ด์ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋ง๋ญ๋๋ค.
์ฅ๋น ํตํฉ์ ๊ณผ์
๋ฐ๋์ฒด ํต์ ํ์ค์ด ์กด์ฌํจ์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ , ํตํฉ์ ๊ฑฐ์ โํ๋ฌ๊ทธ ์ค ํ๋ ์ดโ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ง์ง ์์ต๋๋ค. ์๋ก ๋ค๋ฅธ ์ฅ๋น ๋ฒค๋๋ SEMI E5 ํ์ค์ ์ฝ๊ฐ์ฉ ๋ค๋ฅด๊ฒ ํด์ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ์์ง๋์ด๋ค์ด ํํ โGEM ํ๋ ์ด๋ฒ๋งโ์ด๋ผ๊ณ ๋ถ๋ฅด๋ ํ์์ ์ด๋ํฉ๋๋ค.
์ผ๋ฐ์ ์ธ ๊ณผ์ ์ค ํ๋๋ ๋ฐ์ดํฐ ๋๊ธฐํ์ ๋๋ค. ํธ์คํธ๊ฐ SV๋ฅผ ์์ฒญํ๋ ์๊ฐ ์ฅ๋น๊ฐ ์ด๋ฅผ ๊ฐฑ์ ํ๊ณ ์๋ค๋ฉด, ๋ด๋ถ ํด๋ง ์๋๊ฐ ๋ง์ง ์์ ๊ฒฝ์ฐ ์ค๋๋ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ฝ์ ์ํ์ด ์์ต๋๋ค. ์์ง๋์ด๋ ์ฅ๋น ๋ด๋ถ ๋ฐ์ดํฐ ๊ฐฑ์ ์๋๊ฐ ํธ์คํธ ํต์ ์ฃผํ์๋ณด๋ค ๋น ๋ฅด๋๋ก ๋ณด์ฅํด์ผ ํฉ๋๋ค.
๋ ๋ค๋ฅธ ์ฅ์ ๋ฌผ์ ๋ ๊ฑฐ์ ์ฅ๋น์ ๋๋ค. ์ค๋๋ ์ฅ๋น๋ GEM ํ์ค์ ์ผ๋ถ๋ง ์ง์ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ฒฝ์ฐ, MES ์์ง๋์ด๋ ์ ํ๋ ๋ฐ์ดํฐ ์ธํธ๋ฅผ ํ๋์ ์ธ ํน ํธ์คํธ๊ฐ ์ดํดํ ์ ์๋ ํ์์ผ๋ก ๋ณํํ๊ธฐ ์ํด โ๋ํผโ ๋๋ ๋ฏธ๋ค์จ์ด๋ฅผ ์์ฑํด์ผ ํ๋ ๊ฒฝ์ฐ๊ฐ ๋ง์ต๋๋ค.
๊ฒฐ๋ก
SECS/GEM ๋ฐ์ดํฐ ์์ดํ ์ ๊ตฌ์กฐ์ ํ์ฉ์ ์๋ฌํ๋ ๊ฒ์ ํ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ๋ฅผ ์ํ ๊ธฐ๋ณธ ์๊ฑด์ ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์์ดํ ์ ์์ญ์ต ๋ฌ๋ฌ ๊ท๋ชจ์ ์์ค์ ์ต์ํ์ ์ธ๊ฐ ๊ฐ์ ์ผ๋ก ๊ด๋ฆฌํ๋ ๋ฐ ํ์ํ ๋ช ํ์ฑ๊ณผ ์ ๋ฐ์ฑ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. SEMI E5 ํ์ค์ ์ค์ํจ์ผ๋ก์จ, ์ ์กฐ์ฌ๋ ์ฅ๋น๊ฐ ์๋ํ ์ํ๊ณ์ ๊ฐ์น ์๋ ๊ตฌ์ฑ ์์๋ก ๋จ๋๋ก ๋ณด์ฅํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ฐ์ ์ด ๋์ฑ ๋ณต์กํ ๋ ธ๋์ ๋ ๋์ ์์ฐ๋์ผ๋ก ๋์๊ฐ์๋ก, ํ์คํ๋ ํต์ ์ ์ญํ ์ ๋์ฑ ์ค์ํด์ง ๊ฒ์ ๋๋ค.
์ฐ์ ํ์ฅ์์ ํ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ SECS/GEM ๋ฐ์ดํฐ ์ค๊ณ ์ง์ ๋ฐ๊ธฐ

